Александр ОрликовскийСоветский и российский физик
Дата рождения: 12.06.1938
Гражданство: Россия |
- Образование и ранние годы
- 1963-1966: Аспирант Московского института электронного машиностроения
- 1985-1988: Заведующий лаборатории Института общей физики (ИОФАН)
- Научные достижения
- Создание СВЧ и ВЧ источников высокооднородных потоков плотной плазмы.
Образование и ранние годы
Выпускник Московского инженерно-физического института 1961 года.Институтские годы
1961-1963: Работа в Союзном научно-исследовательском институте приборостроения
1963-1966: Аспирант Московского института электронного машиностроения
Преподавательская и научная деятельность1969-1984: Старший преподаватель, доцент, профессор кафедры интегральных полупроводниковых схем Московского института электронной техники
1981-1985: Старший научный сотрудник Физического института им. П. Н. Лебедева (ФИАН)
1985-1988: Заведующий лаборатории Института общей физики (ИОФАН)
Руководство Физико-технологическим институтомС 1988: Лаборатория Физико-технологического института (ФТИАН)
2001-2005: Заместитель директора ФТИАН по научной работе
С 2005: Директор ФТИАН
Членство в научных организациях
Член-корреспондент РАН (2000)
Академик РАН (2006) по Отделению нанотехнологий и информационных технологий
Научные достижения
Пионерские работы по полупроводниковым интегральным схемам памяти.Разработка плазменных процессов в технологии кремниевой наноэлектроники.
Создание СВЧ и ВЧ источников высокооднородных потоков плотной плазмы.
Разработка новых технологий силидизации контактов к мелкозалегающим p-n переходам.
Разработка физической модели баллистических нанотранзисторов с учетом квантовых эффектов.
